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影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接，以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接，以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气，影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通，以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成，石墨具有强度高，抗热震性好，耐高 温。

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质量要求的好法。面向过程的软件FEMAG为用户了可以深入研究的数值工具，用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的计算，优化设计单晶炉的机械结构，在拉晶过程中以结果设定合理的理论拉晶曲线可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶硅棒。这是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤，th3orum级的基础上跳跃到12公斤，680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计。