直拉式长晶炉滨海分子泵的 在自主设计的定向凝固设备中进行，熔炼、浇注与定向凝固均在真空环境中进行，由真空系统、熔炼系统和定向凝固系统组成。真空系统由机械泵和扩散泵两级系统组成，熔炼装置采用电磁感应熔化，定向凝固采用水冷铜底座实现。W3/2O2＝WO3(气态)。

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的硅单晶体生长炉商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场，已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空－检漏－熔料－引晶－放肩－等径－收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好，直径偏差在单晶全长内仅±1 YEX100PV。生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前上大美国KAYEX\国外以美国KAYEX 为代表 KAYEX120PV，KEYEX150，Vision300型，投料量分别为30kg 300kg。 该二次增料装置的工作原理是：拉杆1可以在固定圈2和圈4内左右，当沿着竖直方向提起拉杆1时，拉杆1底部的锥形面与外简5相接触，此时，将块状硅料从固定圈2与外筒5之间的空隙中添加外筒5内，直添满，从而实现二次增料装置的装料；接着，提拉盛满块状硅料的二次增料装置单晶炉内，使支撑圈3与单晶炉内部的匹配部位相吻合，松提拉杆1，在硅料重力的作用下，拉杆1底部的锥面与外筒5相分离，此时拉杆1底部的锥面位置如虚线所示，块状硅料从外筒5与拉杆1底部锥面之间的空隙流人盛有熔融硅料的石英坩埚中，二次增料装置内的硅料自由下到单晶炉内的石英坩埚中，实现单晶炉的二次增料。