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发布:2024/4/26 11:52:38 来源:shxj365

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主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的能,可以大致分为加热系统,传热及支撑系统,导流系统,保温系统等。如加热系统包括加热器,石墨电极,连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚,石英坩埚,托盘,坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖,保温筒,保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料以及晶棒的拉速和品质。而石墨加热器作为加热系统的核心部件2加热器的工作原理与使用要求。
质量要求的好法。面向过程的软件FEMAG为用户了可以深入研究的数值工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的计算,优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以结果设定合理的理论拉晶曲线可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶硅棒。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,

中频炉成套设备:长期各类钢铁厂 、铸造厂、轧钢厂、冶炼厂用中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、中频电炉、中频熔炼炉、中频感应炉、中频锻造炉、中频淬火炉、中频烧结炉、中频熔铝炉、中频熔钢炉、中频加热炉、中频透热炉等中频炉成套设备。

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    冶炼设备:长期各类炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感应炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉、平整机、拉矫机等冶炼设备。

    铸造设备:长期各类高频炉,氮化炉、渗碳炉、盐浴炉、真空加热炉、钎焊炉、高频电炉、中频电炉、感应炉、井式炉、熔铝炉、熔铜炉、电弧炉、辐射电炉、网带炉、台车炉、保温炉、罩式炉、退火炉、回火炉、淬火炉、推杆炉、焙烧炉、烧结炉、窑炉、硝盐炉、时效炉、管式炉、氨炉、坩锅电炉、熔炼炉、箱式炉、调质电炉、实验电炉、加热炉、锻造炉、连续炉、热风炉等铸造设备。

直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产 PV,KAYEX120PV,KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg。是现今信息社会的基石。根据半导体设备材料产业协会(SEMI)的报告,全球大直径硅单晶的需求依然旺盛,450mm硅单晶要继续发研究。当前主流集成电路设备用部件急需400mm硅单晶并提出低成本的要求,发400mm硅单晶和研究晶体的工艺过程,无疑具有重要的理论意义和现实需求。同时,发下一代450mm集成电路用硅晶体,研究外加磁场对改善晶体质量的作用。广泛应用于集成电路备件和硅片领域大直径硅单晶的与数值分析\大直径硅单晶是微电子工业的基础材料对于我国未来450mm硅片具有重要的战略意义。本文从晶体生长物理基础和流体力学的基本理论出发采用28inch和32inch热场出400mm和45。

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